聚焦离子束-电子束双束显微镜（FIB）
发布日期：2024-09-02
型号：Helios 5 UX DualBeam
制造商：Thermo Scientific
存放地点：550栋 111
主要功能及特色
Helios 5 UX DualBeam是一种集聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）功能于一体的电子显微分析仪器。其主要功能包括样品表面形貌高分辨率成像、精确材料去除、纳米级样品制备以及区域元素分析。FIB可用于切割、刻蚀以及样品修整，进而实现对复杂结构的内部分析和超薄截面制备，SEM功能则提供清晰的图像以监控FIB过程。Helios 5 UX DualBeam广泛应用于半导体制造、材料科学、生物科学和纳米技术研究中，特别适合进行高精度的结构分析和微纳加工。
Helios 5 UX DualBeam的特色在于其极高的分辨率和多功能性。该设备配备了最新的电子、离子光学系统，能够在极小尺度上进行精确的切割和成像，分辨率达到亚纳米级。其独特的双束设计允许同时或交替使用FIB和SEM功能，使用户能够实时观察并调整加工过程，确保最终结果的精确性和一致性。除了先进的电子和离子光学系统，Helios 5 DualBeam 还采用了一套最先进的技术，能够实现简单、一致的高分辨率（S）/TEM和原子探针断层扫描（APT）样品制备，能够进行复杂的3D重建和分析。此外，该系统提供多种附加功能，如能量色散X射线光谱（EDS）和电子束曝光系统（EBL），进一步扩展了其在微观结构和成分分析方面的应用能力。
主要技术指标
- 电子束电流范围0.8 pA~100 nA、加速电压范围350~30 kV、着陆能量范围20~30 keV、着陆能量0.6 nm@2 keV、0.7 nm@ 1 keV、1.0 nm@500 eV，最大水平射野宽度4mm WD时2.3 mm；
- 配备Phoenix离子镜筒，离子束电流范围1 pA~65 nA、加速电压范围500 V~30 kV、最大水平射野宽度0.7 mm(光速重合处)、离子源寿命>1000 h，配备两级差速抽气飞行时间(TOF)校正15位置光阑条；
- 检测器方面，配备Elstar 镜筒内 SE/BSE 检测器（TLD-SE、TLD-BSE）、Elstar 色谱柱内 SE/BSE 检测器 (ICD)、Elstar 色谱柱内 BSE 检测器 (MD)、Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)、用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能腔室内电子和离子检测器 (ICE)、用于样品导航的 Thermo Scientific 腔室内 Nav-Cam 摄像机、集成的等离子束电流测量；
- FIB制备工艺最大物料去除65 nA、最佳最终抛光500 V，TEM样品制备最小可控厚度7 nm，配备自动化程序；
- 配备高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴，样品处理行程150×150×10 mm，旋转角度360°、倾斜范围-10°至+60°，最大样品高度55 mm，配备手动快速加载器；
主要附件及配置
- 布鲁克 EDS能谱仪
- Raith EBL电子束曝光系统
- 标准型超平样品台
- 转角型垂直夹持台
用户须知
需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为测试
