精密离子减薄仪
发布日期：2024-08-28
型号：Gaten 695.CZP
制造商：Gaten, Inc.
存放地点：550栋113
主要功能及特色
精密离子减薄仪是一种用于制备超薄样品的高精度设备，主要应用于透射电子显微镜（TEM）样品的制备。其主要原理是通过高能离子束轰击样品表面并将样品逐层去除，从而达到纳米级的厚度要求。该设备能够精确控制离子束能量、角度、曝光时间和样品旋转速度，使样品在减薄过程中保持均匀性和完整性。该设备广泛用于材料科学、半导体器件以及生物学等领域，以获得高分辨率的样品断面及表面信息。
精密离子减薄仪的特色在于其高精度控制和全自动化功能。通过控制Ar离子能量和曝光时间等可以根据样品的材质和特性选择最合适的减薄条件，确保样品在减薄过程中不产生过度损伤或应力集中。设备的自动化控制系统可设定复杂的减薄程序，从而减少人为操作误差提高样品制备效率和均匀性。此外，精密离子减薄仪还具备实时监测功能，能够在减薄过程中实时观察样品厚度的变化，确保最终样品满足实验要求。是TEM样品制备不可或缺的工具。
主要技术指标
- 离子源为氩离子源，两只离子枪操作角度为±10°。
- 离子束能量最低可达100eV，保护样品。
- 工作真空度一般保持在10-5 Pa~10-7 Pa，以确保离子束稳定且减少气体分子对减薄过程的干扰。
- 离子束的直径一般在几微米到几十微米之间，以便于高精度减薄和局部处理。
- 配备外部相机，结合GM软件能够实现原位观测。
主要附件及配置
- 离子发生器，包括备用离子源，支持不同类型的离子气体（如氩气、氦气等），用于适应不同材料的减薄需求。
- 离子束调节器，用于精确控制离子束的能量、角度和直径，确保减薄过程的高质量和一致性。
- 可调样品台，支持多种样品形状和尺寸的固定，通常带有精细调节功能以确保样品在离子束照射下的位置准确。
- 冷却/加热装置，用于控制样品在减薄过程中的温度，以防止热敏材料受到损伤。
- 高性能的真空泵，用于维持工作环境的高真空状态，以确保离子束的稳定性。
- 真空度监测仪，用于实时监测系统内的真空度，确保其在设定范围内。
- 实时监控摄像头，用于在减薄过程中实时观察样品状态，提供反馈。
- 清洁工具，用于定期清洁离子源和样品台，保持设备良好的工作状态。
- 备件包，包括一些常用的易损件，以便于快速更换和维护，如密封圈、接头等。
用户须知
需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为测试
设备预约链接：
