提拉法单晶炉

型号：JGD800
制造商：高奇
存放地点：550栋122

主要功能及特色

高奇JGD800提拉法单晶炉用于生产高品质单晶材料，在半导体和光电领域中广泛应用。该设备通过Czochralski法（CZ法）从熔融态材料中提拉出单晶。其主要功能包括温度控制、提拉速度和旋转速度控制，确保所制备单晶的晶体结构和尺寸高度一致性。该设备配有高精度温控系统，能在熔点附近维持稳定的温度场，减少温度波动对晶体质量的影响。同时，炉体设计保证了良好的隔热性能，有效降低了能量消耗。

高奇JGD800提拉法单晶炉的特色在于其智能化和人性化的操作界面。设备支持自动化提拉过程，通过预设程序可实现参数自动调节，减少人为操作误差。此外，该还配备了先进的监控系统，实时记录和显示拉晶过程中各项参数，便于用户对晶体生长过程的全面掌控。该设备采用了高纯度材料构造熔体容器，极大地降低了杂质污染的风险，确保了单晶的纯净度。

主要技术指标

1. 炉体：φ800×1100mm（材料 304#不锈钢）
2. 提拉行程：≥550mm
3. 提拉爬行：≤2μm（拉速1mm/h）
4. 中频功率：0-60kW(连续可调)
5. 功率精度：≤1‰
6. 称重量程：0-20Kg
7. 称重显示精度：≤10mg
8. 真空度：≤10Pa
9. 设备能承受0.05MPa 的许用压力
10. 旋转速度：0.1-40rpm(连续可调)
11. 提拉速度：0.1-6000mm/h(连续可调)
12. 线圈：适配坩埚和炉体，尺寸φ180mm×130mm
13. 最高使用温度：≥2100℃

主要附件及配置

附件参数

1. 冷水机组：名义制冷量：65kW，整机功率：≤22kW，可调温度范围：18-28℃（控制温度：22±1.5℃），扬程≥40m，水箱容积：1.5m3，水泵一用一备。
2. 应急电池组：供电时间≥20min(以使用功率 25kW计)，可在线充电。
3. CCD：CCD 观测接种位置，采用高清2000万像素彩色相机。
4. 测温系统：采用1（侧面）+1（底部）铂铑探头，温控仪测温范围：室温-2100℃，温控仪显示分辨率：≤0.01℃。
5. 连续加料系统：称重量程≥3Kg，显示分辨率：10mg，加料速度：0-10g/min，料斗容量≥2kg，低温晶体适用。
6. 机械泵：抽速：≥12L/s，接口：KF40，极限真空度：≥9*10-1Pa。

软件及其功能

1. 晶体接种完成后，自动控制生长过程（以1英寸纯YAG或Al2O3为标准）。
2. 具有晶体建模、参数设定、生长数据记录、历史数据分析、数据导出等功能。
3. 停水、断电等异常状态报警、自动处理。

用户须知

需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为操作

设备预约链接：https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=4037 

设备预约二维码：

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