化学气相沉积高温炉（CVD）
型号：CVD-55347C
制造商：广州甲工科技有限公司
存放地点：571栋哲生堂306
主要功能及特色
CVD技术是在一定的真空气氛条件下，利用加热元件发热的原理将工作管内加热到一定温度后，通入气体，气体在高温下裂解后沉积于样品表面，达到组织增密的目的,是一种材料生长或反应的新制备技术。
主要技术指标
一、加热系统：
1. 瑞典Kanthal加热丝和陶瓷纤维材质保温层可以保证快速升降温、高能效和较低的炉外表温度。
2. 对开式炉门方便取放样品。
3. 独特的炉腔设计可以有效降低炉外表面温度。
4. 热反射元件形成高效中空保温层。
5. 紧凑型炉体外表面涂有耐热涂层。
6. P型热电偶，测温最高可达1400℃，使用寿命长。
7. 工作管直径：25-80mm。
8. 加热长度：300mm。
9. 温度范围：100-1200℃。
二、温度控制系统：
1. 数字型多程序温度控制器（MAC3)：微处理控制为基础、带自我调节功能的PID控制器保证最佳的温度处理，防止过热；LED显示屏同时显示设定和实际温度；温控精确度：±0.3%。
2. 柜式设计，含脚轮。
三、密封系统：
1. 2英寸石英管以及不锈钢密封法兰。
2. 密封法兰采用水冷方式，配置冷水机。
3. 密封法兰配备升降架，使用人员可根据实际调节。
四、供气系统：
1. 四路气体设计，可同时通入氩气、氢气、氮气、烷类等四种气体。
2. 每路气体管路配备HORIBA精密 MFC质量流量控制器，精度±1.0%F.S.，氢气：0-200sccm，氩气：0-1000sccm，烷类：0-1000sccm，氮气：0-1000sccm。
3. 配置显示仪，气体流量数字显示、自动控制。
4. 柜式设计，含脚轮。
五、真空系统：
1. 密封系统和真空系统管路皆采用快卸法兰方式。
2. 配套Lebold旋片泵，抽速：17m3/h，极限真空度:0.04Pa。
3. 真空油泵出口带过滤器，最大程度延长真空油泵的使用寿命。
4. 采用电阻和压阻双真空计精确显示实际真空度。
5. 采用并联管路控制管内真空度，实现真空度可调节。
用户须知
需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为使用
