扫描电子显微镜（SEM）

型号：Quanta 250 FEG

制造商：Thermo Fisher Scientific Inc.

存放地点：550栋111

主要功能及特色

QUANTA 250 FEG扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）是美国FEI公司生产的QUANTA系列产品，可以获得所有样品表面的信息：收集二次电子信号给出样品的表面形貌像，电镜配有附件电子背散射衍射仪，收集背散射电子信号给出样品的表面成分，用于晶体结构、晶体取向、晶粒分布、应力分布等分析。具有高真空、低真空和 ESEM 三种模式，高真空可以用于材料学科样品检测；低真空可以对含水、含油，易形变的样品进行检测，避免传统电镜必须要对样品进行脱水处理而导致形变的影响。环境扫描电镜的物镜的下极靴处装有多个压差光阑，使得在保证电子枪室高真空的同时，允许样品室内处于不同的真空状态，因此， 除具备与传统SEM在高真空状态下对样品表面形貌进行成像的功能外，还能在低真空模式(15 Pa—130 Pa)和环境状态模式（130 Pa—2600 Pa）下直接观察样品。SEM样品的适用范围非常广，可以直接做非导电材料：如高分子材料、陶瓷材料、环境样品、生物医学材料等，不需喷镀导电膜，分析简便迅速，不破坏样品原始形貌。QUANTA 250样品室大，工作距离大，可以观察大块样品和磁性材料。

主要技术指标

1. 热场发射电子枪(TFE)
2. 可调节电压：200V~30kV
3. 五轴移动样品台系统
4. 可放置的样品最大尺寸：25mm*25mm
5. 二次电子成像分辨率：高真空模式下30KV时3.0nm; 3KV时10nm。低真空模式下30KV时3.0nm; 3KV时<12nm。环境扫描模式下30KV时3.0nm; 3KV时<12nm
6. 背散射电子成像分辨率：高真空模式下30KV时4.0 nm

主要附件及配置

1. 电子背散射衍射仪——高真空模式下成像分辨率30KV时4.0 nm
2. ELPHY Quantum电子束曝光系统——电子束束斑：≤1.6nm；图形发生器频率：6MHz；最小直写线宽：≤8nm；写场面积：100 μm*100μm；写场拼接误差：≤50nm；套刻精度：≤50nm；

用户指南（或管理规定）

1. 需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为测试。
2. 用户手册，请联系责任老师索取相关资料。

设备预约链接：https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=2471 

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